文件名称：波像差法构建非球面干涉检测的误差分离模型 (2006年)
文件大小：349KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-28 23:13:33
自然科学 论文
非球面元件光学干涉检测中，获得客观、准确的面形信息是实现元件快速、确定性制造的关键因素之一。为了实现大口径光学离轴非球面反射镜的高精度检测，对其干涉检测结果中的误差信息表现形式进行了分析研究，提出了一种基于将离轴非球面反射镜检测工装视为具有5维*度空间刚体设想的误差分离矩阵，并从波像差理论出发，寻求出调整误差作用分量的分立表现形式及影响参数，建立了计算机辅助检测大口径光学离轴非球面反射镜的基本模型。仿真分析结果证实了这种方法的可行性。