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文件名称：零补偿干涉检测实现及误差量规律
文件大小：250KB
文件格式：PDF
更新时间：2016-04-29 08:21:31
检测 误差
针对大口径离轴光学非球面反射镜的特殊工艺性,在合理设计零补偿器结构形式的基础上,综合考
虑零补偿器各组件的误差参量做进一步优化. 利用零补偿器实施非球面元件面形干涉检测过程中,着重分析
调整误差对检验精度的影响,建立误差标定模型. 以一块二次离轴非球面反射镜为实例进行了计算机模拟分
析,得到对应不同调整误差的干涉图样,可以为快速地调整补偿器与被检元件之间相互位置提供参考,有助
于获得指导加工的真实面形结果.