零补偿干涉检测实现及误差量规律 (2006年)

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文件名称：零补偿干涉检测实现及误差量规律 (2006年)
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更新时间：2021-05-17 19:31:02
自然科学 论文 针对大口径离轴光学非球面反射镜的特殊工艺性，在合理设计零补偿器结构形式的基础上，综合考虑零补偿器各组件的误差参量做进一步优化。利用零补偿器实施非球面元件面形干涉检测过程中，着重分析调整误差对检验精度的影响，建立误差标定模型。以一块二次离轴非球面反射镜为实例进行了计算机模拟分析，得到对应不同调整误差的干涉图样，可以为快速地调整补偿器与被检元件之间相互位置提供参考，有助干获得指导加工的真实面形结果。