具有MHz级超高谐振频率的MEMS单片三轴高冲击加速度计

【文件属性】：

文件名称：具有MHz级超高谐振频率的MEMS单片三轴高冲击加速度计

文件大小：2.62MB

文件格式：PDF

更新时间：2024-05-06 14:16:53

研究论文

具有MHz级超高谐振频率的MEMS单片三轴高冲击加速度计