文件名称：氧化锌/银双层膜负反馈阴极电极的制备及性能研究 (2007年)
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更新时间：2024-05-31 16:42:06
工程技术 论文
提出了一种可显著改善碳纳米管（CNTs）场致发射性能的ZnO/Ag双层膜负反馈阴极电极的制备方法。在条形银电极上溅射沉积一定厚度的Zn膜，经热氧化和湿法刻蚀制备成ZnO/Ag双层膜电极。同单层的Ag或氧化铟锡电极相比，该电极不仅具有足够的负反馈电阻（限流电阻）阻止CNTS场发射中过流的发生，而且降低了条形阴极电极的线性电阻，确保了场发射的均匀性。当溅射沉积Zn膜的厚度从40nm增到120nm时，热氧化形成的ZnO由孤岛状的颗粒变为连续体的薄膜，ZnO/Ag双层膜电极的表面光洁度比单层的Ag电极有很大的提高