双层辉光离子渗金属技术沉积氮化钛薄膜的微观结构研究 (2012年)

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文件名称：双层辉光离子渗金属技术沉积氮化钛薄膜的微观结构研究 (2012年)
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更新时间：2021-05-18 07:32:16
自然科学 论文 采用双层辉光离子渗金属技术,在硬质合金基体表面上制备了氮化钛(TiN)薄膜,通过微观结构和显微硬度分析,研究了基体温度对TiN薄膜性能的影响。实验结果表明:所有TiN样品均具有面心立方结构,并且薄膜生长的择优取向、晶粒尺寸、晶面间距、晶格常数和微观硬度等都与基体温度密切相关。当基体温度为650～780℃时,TiN薄膜具有最小的晶粒尺寸(26.9nm)和最大的显微硬度(2204HV)。