放电电压对直流热阴极制备金刚石厚膜的影响 (2010年)

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文件名称：放电电压对直流热阴极制备金刚石厚膜的影响 (2010年)
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更新时间：2021-05-27 11:57:50
自然科学 论文 利用直流热阴极辉光放电方法制备出了高品质金刚石厚膜，生长速率达到20 μm／h，生长厚度达到3 mm．为了解其工作特性、优化沉积工艺，本文研究了放电电压对金刚石沉积速率和品质的影响．通过对扫描电镜、拉曼谱和XRD图谱分析得出，随着放电电压的增加，沉积速率呈下降趋势，电压在850～950 V范围金刚石中石墨和非晶碳明显减少，晶粒均匀，表面晶向以(110)为主，金刚石薄膜的质量显著提高．