文件名称：基于丁腈橡胶帽封装的MEMS仿生水听器的设计 (2014年)
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更新时间：2024-07-01 22:12:50
工程技术 论文
针对现有封装结构会对灵敏度造成一定程度的损失,使现有水听器的灵敏度小于水听器芯片裸测灵敏度的问题,改用了透声性能好、耐腐蚀的丁腈橡胶(NBR)制作的透声帽,并对现有的矢量水听器的封装外壳进行相应的优化设计。该封装结构的水听器的共振频率降低到50Hz以下,水听器所感兴趣的频段(50Hz～4kHz)不会受到封装谐振的干扰,拓宽了水听器的工作频段。该封装的灵敏度提高到几乎与裸片的灵敏度一致,达到(-170±2)dB,并优化金属管壳的圆盘的尺寸,即水听器最大径,由36mm缩小至28mm,使水听器的封装进一步小型化