新型三维MEMS矢量水听器的设计* (2013年)

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文件名称：新型三维MEMS矢量水听器的设计* (2013年)
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更新时间：2021-04-25 18:26:46
工程技术 论文 根据国内对高灵敏度、低频小体积三维矢量水听器的需求，提出了一种仿鱼侧线纤毛的MEMS三维矢量水听器。该水听器采用多纤毛结构分别用来接收X、Y与Z方向的声信息，采用ANSYS进行仿真，静力分析得出了布放压阻的合理位置，谐响应分析得出该结构的固有频率在1．5 kHz左右；驻波桶校准测试结果表明：该水听器的灵敏度范围在-200 dB到-180 dB左右；在25 Hz～2 000 Hz频段内具有良好的频响特性；指向性分辨率大于等于30 dB，具有良好的“8”字形指向性。