中小口径双非球面数控抛光技术研究 (2009年)

时间:2024-05-18 12:10:30
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文件名称:中小口径双非球面数控抛光技术研究 (2009年)

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更新时间:2024-05-18 12:10:30

工程技术 论文

针对口径φ62 mm双凸非球面透镜,进行了数控研磨和抛光技术研究。提出了规范性的加工工艺流程,实现了中小口径双非球面元件的高效、快速抛光。根据计算机控制光学表面成型技术,采用全口径抛光和小抛头修抛的两步抛光法,在抛光中对其面形误差进行多次反馈补偿,使被加工零件表面的面形精度逐步收敛 o最终两面的面形精度均小于 0 . 5μm,中心偏差小于 0.01 mm,满足了光学系统中对非球面元件的精度妥求,并且在保证有较高面形精度和较好表面光洁度的同时,解决了双非球面中心偏差和中心厚度难以控制的加工技术难题。


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