文件名称：Nd掺杂ZnO薄膜的制备及室温光致发光研究 (2008年)
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更新时间：2024-07-03 04:14:17
自然科学 论文
通过射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了Nd掺杂ZnO薄膜．XRD和AFM分析表明，Nd掺杂没有改变ZnO结构，薄膜为纳米多晶结构．随Nd掺杂量的增加颗粒减小，表面粗糙，起伏较大．室温光致发光谱显示，薄膜出现了395 nm的强紫光峰和495 nm的弱绿光峰，Nd掺杂量和氧分压对PL谱发射峰强度产生了一定影响．
Nd掺杂ZnO薄膜的制备及室温光致发光研究 (2008年)
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