热处理对铜砧污单晶锗(111)光学性能的影响 (2010年)

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文件名称：热处理对铜砧污单晶锗(111)光学性能的影响 (2010年)

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更新时间：2024-05-12 17:15:14

自然科学 论文

采用傅里叶红外光谱测试技术,研究快速热处理(RTP)和常规热处理(CFP)对表面铜站污单晶锗红外透过率的影响。结果表明：样品的红外透过率随热处理温度的上升呈增大趋势。样品经过短时间抛光后,红外透过率恢复至初始大小。分析表明Cu-Ge的互扩散及界面反应是造成透过率改变的主要原因。