文件名称：大长径比微细轴的车削工艺研究* (2005年)
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更新时间：2024-06-19 16:27:25
工程技术 论文
微纳米级器件的加工是MEMS系统的开发、应用的关键技术之一。通过切削试验，设计出能加工最小直径为7 μm的微细轴的金刚石车刀，其主要参数为：主偏角Kr=93°，副偏角K′=30°，前角y0=0°，后角α0=5°。然后以加工直径20 μm的轴为例，分析了进给量、背吃刀量以及主轴转速对微细轴成形和表面粗糙度的影响。研究结果表明，在微细轴的加工中，切削用量不仅对工作表面质量产生影响，而且关系到是否能够车削成形。在可成形范围内，进给量与表面粗糙度值成正比，具有显著的影响；背吃刀量、主轴转速对表面粗糙度的影响较小。