文件名称：软紫外光压印光刻的模具制造研究 (2008年)
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更新时间：2024-06-17 21:14:18
工程技术 论文
在软紫外光压印光刻中，提出以光刻胶为母版材料翻制聚二甲基硅氧烷软模具的工艺方法，并把图型母版材料对软模具制造过程的影响进行了实验研究。研究表明，软模具图型质量仅和浇铸过程的充型压力有关，在0.05Pa的真空压力下充型，光刻胶母版图型强度足够抵抗充型压力，所翻制的软模具复型精度为（97.24±0.60）%，复型精度方差为0.376%，在翻制软模具50次后，光刻胶母版图型无明显扭曲变形和缺损、污物。因此，采用光刻胶作为母版图型材料，不仅可以满足工艺精度的要求，而且可以提高生产率、降低生产成本。