文件名称：平面工艺SnO2薄膜甲醛气敏元件的研究* (2009年)
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更新时间：2024-05-15 11:55:26
工程技术 论文
用ANSYS仿真软件得到最优化的气体传感器电极结构，采用平面工艺在硅衬底上制作了3mm×2mm的直热式SnO2薄膜甲醛气敏元件。用溶胶凝胶（sol-gel）法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜，材料的平均粒径约为15nm。元件的最佳工作温度约为230℃，在该加热温度下测试了元件对体积分数为50×10-9的甲醛气体的灵敏度以及响应恢复时间。实验证明：元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大，元件的响应和恢复时间均约为50s。