文件名称：SnO2：Pt薄膜和SnO2/SnO2：Pt双层膜气敏响应的次方因子 (2004年)
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更新时间：2024-05-28 16:50:52
工程技术 论文
用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2：Pt薄膜和表面层掺杂SnO2，SnO2：Pt双层膜，测量了薄膜在不同CO体积分数下的灵敏度和电导。研究了两种薄膜对CO响应的次方因子，测定了工作温度和薄膜厚度对次方因子的影响。实验结果表明，由室温至200℃，这两种薄膜对CO气体都显示了较高的灵敏度和选择性，两种薄膜电导对CO的响应服从次方定律关系，薄膜工作温度及厚度对次方因子均有影响，次方因子在0.5～0.8之间，次方因子在膜厚60～70砌附近存在极大值。对两种薄膜测量结果的比较说明，这两种薄膜的气敏响应主要发生在薄