一种新型水平式ME MS隧穿磁强计仿真 (2008年)

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文件名称：一种新型水平式ME MS隧穿磁强计仿真 (2008年)

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更新时间：2024-05-27 07:13:56

工程技术 论文

针对微机电系统(ME MS )水平式隧穿磁强计,驱动电压过大,不符合微小型卫星上电源电压的使用条件。提出了单折绕梁结构,通过改变梁结构的方法来降低驱动电压,进行了有限元静力及模态仿真分析,所得的位移距离,各阶频率值符合要求,为满足在微小型卫星上的电压要求提供了理论上的可能性。