文件名称：粉浆浇注制备大尺寸ITO靶材工艺 (2014年)
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更新时间：2024-05-16 08:56:03
工程技术 论文
研究分散剂、pH值和固相含量对铟锡氧化物（ITO）浆料稳定性、流变性的影响，以及粉浆浇注压力对坯体密度的影响。结果表明：当聚丙烯酸（PAA）质量分数为0.5%、聚乙二醇（PEG）质量分数为1.5%、pH值为9、ITO固相含量为70%（质量分数）时，调制的浆料的流变性和稳定性最佳，并在注浆压力为1.5 MPa的条件下制备出相对密度为68%的高密度粉浆浇注坯体；对该素坯进行常压烧结制备了相对密度高于99.5%的ITO靶材。对靶材的组织与成分分析发现，粉浆浇注ITO靶材的结构为氧化锡完全固溶于氧化铟的单一立方I