文件名称：掺铝氧化锌复合粉*备工艺对靶材性能的影响 (2011年)
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更新时间：2024-06-16 03:02:35
自然科学 论文
以Zn(NO3)2・6H2O、Al(NO3)3・9H2O为前驱体，柠檬酸为络合剂，采用溶胶-凝胶法制备了掺铝氧化锌复合粉体，并通过普通烧结制备出掺铝氧化锌靶材，对制备的靶材进行测试试验，结果表明：采用两倍于金属离子摩尔浓度的柠檬酸为络合剂、pH为7.2、干燥温度为90℃时，所制备靶材的致密度及电学性能有较优值，与固相反应法相比，该靶材的性能更好，成分更均匀。