文件名称：扫描电镜中纳米材料的原位操纵和动态观察 (2008年)
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更新时间：2024-06-03 05:09:47
工程技术 论文
介绍了配置在扫描电镜（SEM）中的微操纵仪（MMs）的操作原理、性能及应用。MMs在水平转动（X轴），上下转动（Y轴）和线性进退（Z轴）的移动精度分别达到5，3.5，0.25 nm。利用具有纳米精度的移动和定位的MMs，对BiVO4晶体、硅藻土、蛋白石和zn0纳米线等纳米材料进行了原位操纵和动态观察。该装置可操纵质量为纳克级，尺寸为几百纳米至几微米的样品。Sem-MMs系统为原位分析纳米材料提供了一种崭新的手段。