文件名称：热处理工艺参数对TiO2成膜性的影响 (2012年)
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更新时间：2024-06-16 03:04:09
自然科学 论文
采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺，以钛酸丁酯、冰乙酸、乙酰丙酮、无水乙醇、去离子水为原料，制取TiO2薄膜，研究热处理工艺对TiO2成膜性的影响，结果表明，获得均匀连续的TiO2薄膜的工艺参数为：匀胶转速为3000 r/min；镀膜时预处理温度为80℃、预处理时间为10 min；室温至200℃阶段的烧结升温速率为0．5℃/min，高温阶段为3℃/min；经500℃烧结热处理后得到锐钛矿结构，薄膜晶粒尺寸均在30～80 nm的范围之内。