应用化学溶液沉积法制备薄膜 (2003年)

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文件名称：应用化学溶液沉积法制备薄膜 (2003年)

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更新时间：2024-06-08 03:33:55

自然科学 论文

本文介绍应用化学溶液沉积法制备超导薄膜的方法。原则上应用这种方法可以广泛制备诸如氧化物铁电薄膜、氧化物介质薄膜、半导体薄膜、金属化合物薄膜等各类薄膜,广泛应用于科研和生产中。其方法成本低廉、工艺简单、制备周期短、且可在较低温度下成相,是一种制备薄膜的好方法。这里从理论与实践的结合上给以论述。