温度场分布对氮化铝晶体生长习性的影响 (2012年)

时间:2024-06-03 15:41:32
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文件名称:温度场分布对氮化铝晶体生长习性的影响 (2012年)

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更新时间:2024-06-03 15:41:32

工程技术 论文

研究升华法制备氮化铝晶体过程中,生长区域温度场分布对晶体生长习性的影响.结果表明,当升华区与结晶区之间的温差较大时,氮化铝晶体的生长方向为c轴方向,显露面为c面;反之,温差较小时,氮化铝晶体的生长方向为与c轴垂直的a轴方向,显露面为m面.同时,生长区域温度场分布还影响晶体的生长尺寸和质量.在自行设计的双区电阻加热晶体生长装置中,通过精确控制升华区与结晶区之间的温度场,实现厘米级m面非极性氮化铝单晶体的制备,并对样品进行测试分析.


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