基于共振隧穿二极管的微机械陀螺设计* (2010年)

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文件名称：基于共振隧穿二极管的微机械陀螺设计* (2010年)
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更新时间：2021-05-15 15:34:11
工程技术 论文 介绍了一种基于介观压阻效应的新型电磁式微机械陀螺，并对陀螺进行了结构设计。该结构采用电磁驱动方式，实现了工作电压小、驱动力大、行程大的要求；采用共振隧穿二极管(RTD)所具有的介观压阻效应检测方式，本质上提高了陀螺的灵敏度。用ANSYS软件对结构进行了模态分析和路径分析，确定了结构的固有频率和RTD放置位置。结合目前工艺要求，对该陀螺进行了工艺设计并实现了结构加工。