文件名称：基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计 (2012年)
文件大小：554KB
文件格式：PDF
更新时间：2024-05-31 20:22:38
自然科学 论文
设计实现了一个基于SEMI标际准的半导体工艺设备仿真平台，该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上，构建了一套基于SEMIS，准的气路功能仿真系统，该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层，既能满足单独设备的功能仿真需求，也能对整个系统的功能进行仿真验证。该系统实现了对物理气相沉积（PVD）系统中，气路中阀门的闭合动作及气流变化等的实时仿真分析。