一种新型微致动元件的制作及特性研究 (2005年)

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文件名称：一种新型微致动元件的制作及特性研究 (2005年)
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更新时间：2021-04-22 21:56:23
工程技术 论文 介绍了一种用于计算机磁头精确定位的新型压电元件。该元件采用高速流延工艺制备Pb（Mg1/3 Nb2/3）O3-Pb（Zr0.52 Ti0.48）O3多层膜，由丝网印刷工艺制作Ag/Pd内电极。为优化元件的制作工艺，对流延过程作了DTA/TGA分析。结果显示，采用110℃、350℃和1090℃的三步烧结工艺可显著提高元件的钙钛化程度，从而提高其压电性能，减少内部缺陷。对元件的XRD分析显示，110℃和350℃时压电薄膜中以钙钛矿相为主，且存在大量的焦绿石相，当烧结温度达到1090℃时，焦绿石相的含量已经很少