论文研究-一种用于细胞操作的中空纳米探针的新型加工方法 .pdf

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文件名称：论文研究-一种用于细胞操作的中空纳米探针的新型加工方法 .pdf

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更新时间：2022-09-07 14:54:28

微纳米加工

一种用于细胞操作的中空纳米探针的新型加工方法，张宇识，季旭，本文给出了一种中空纳米探针的新型加工方法，利用PECVD的台阶覆盖性不好的特点，在平面上形成中空的纳米结构。这种方法成功地加工�