退火条件对注Mn GaAs结构的影响 (2007年)

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文件名称：退火条件对注Mn GaAs结构的影响 (2007年)

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更新时间：2024-06-12 04:25:18

自然科学 论文

通过离子注入在半绝缘GaAs衬底中掺引入Mn杂质，进行不同温度的退火后，在样品中形成了磁性MnAs粒子。利用原子力显微镜和磁力显微镜对样品的表面进行分析，发现退火条件会影响样品磁性粒子的分布。运用二次离子质谱仪测量了样品中Mn的深度分布，发现退火温度对样品中Mn的分布有很大影响。