磁控溅射制备参数对ZnO∶Al光学性能的影响* (2006年)

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文件名称：磁控溅射制备参数对ZnO∶Al光学性能的影响* (2006年)

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更新时间：2024-05-26 22:42:44

自然科学 论文

ZnO∶Al（ZAO）透明导电薄膜是一种n型半导体，有高的载离子浓度和大的光学禁带宽度，具有优异的电学和光学性能，有极广的应用前景。着重分析了磁控溅射制备参数对光学性能的影响。