PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究* (2014年)

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文件名称：PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究* (2014年)
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更新时间：2021-05-31 05:57:03
工程技术 论文 采用直流磁控溅射工艺实现了PZT压电蜂鸣片的金属化,分别研究了 Cr/Cu/Ag、Ti/Cu/Ag、Cu/Ag 3 种复合膜系电极薄膜的微观结构和电学性能差异,并与“丝网印刷银浆再高温烧结”(简称“丝印烧结”)金属化工艺进行了比较.研究结果表明,用溅射金属化工艺制备的压电蜂鸣片,其电极膜层致密、均匀,一致性好,电学性能普遍优于丝印烧结工艺,其中又以 Ti/Cu/Ag 膜系为最佳,最大抗拉强度达到13.5 MPa、平均谐振电阻小于 25 Ω、机电耦合系数大于0.7,而金属化膜厚仅为丝印烧结工艺的 1/4,另