氮掺杂对Ti02薄膜光学性能的影响 (2010年)

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文件名称：氮掺杂对Ti02薄膜光学性能的影响 (2010年)
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文件格式：PDF
更新时间：2021-05-20 10:14:17
自然科学 论文 目的 研究氮掺杂对TiO2薄膜的折射率、透过率、吸收光谱和光学禁带宽度的影响，寻找最佳的掺N量，通过掺N来提高TiO2薄膜对可见光的敏感度。方法 用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上，控制氩气和氮气的流量比，生长出不同氮含量的TiO2薄膜。结果 适量地掺杂可以提高薄膜的折射率；氮掺杂的TiO2薄膜的光学吸收边发生了明显的红移现象；可见光吸收带中存在肩峰的根本原因是出现了新的氮的2p能级。结论 通过适量的氮掺杂可以有效地减小TiO2薄膜的光学禁带宽度，从而提高TiO2薄膜对可见光的响应和太阳光的利用效率，