非晶硅锗薄膜太阳能电池研究 (2012年)

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文件名称：非晶硅锗薄膜太阳能电池研究 (2012年)

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更新时间：2024-05-31 05:45:23

自然科学 论文

介绍了薄膜电池的制备技术及发展进程。采用射频等离子体加强气相沉积法(PECVD),制备了非晶锗硅薄膜,提出了制备优质非晶锗硅薄膜的条件和非晶锗硅薄膜的基本性质及其制备工艺中存在的问题和解决方案。