不同MgO掺杂比对MgxZn1-xO靶材性能的影响 (2015年)

时间:2021-05-14 21:56:21
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文件名称:不同MgO掺杂比对MgxZn1-xO靶材性能的影响 (2015年)
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更新时间:2021-05-14 21:56:21
工程技术 论文 用传统常压固相烧结法,制备掺杂氧化镁的氧化锌陶瓷靶材,研究不同MgO含量及烧结温度对MgxZn1-xO陶瓷靶材的微观结构、力学性能、致密度和导电性能的影响.通过X射线衍射仪(X-ray dif- fraction,XRD)测定靶材相结构,扫描式电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)观察靶材的断面形貌,万能实验机测量靶材的抗弯强度,维氏显微硬度仪测量靶材的维氏硬度,阿基米德排水法测量靶材密度,四探针法测量靶材导电性能,对MgxZn1-xO靶材的性能进行了表征,分析了M

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