RF-MEMS器件及其关键工艺技术 (2005年)

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文件名称：RF-MEMS器件及其关键工艺技术 (2005年)

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更新时间：2024-07-05 08:13:37

自然科学 论文

综合介绍目前无线通讯产品中使用的各种类型RF-MEMS器件，统一说明RF-MEMS器件的基本工作原理，并分析RF-MEMS器件加工的关键工艺技术及设计制作时应注意的问题。