检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪 (2005年)

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文件名称：检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪 (2005年)
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更新时间：2021-05-18 12:22:20
自然科学 论文 基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪。柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成。物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成。轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5mm,视场0.64x0.48mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器。通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌。实验结果表明,Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875um,垂直