纳米检测轮廓仪相移干涉图处理

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文件名称：纳米检测轮廓仪相移干涉图处理

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文件格式：PDF

更新时间：2014-01-29 09:39:04

相移干涉

利用相移干涉法测量围观表面。研究了相位提取算法和相位包裹算法。有效地取出了环境噪声，降低了相移误差的影响。