基于干涉条纹图像对比法测量微位移 (2012年)

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文件名称：基于干涉条纹图像对比法测量微位移 (2012年)
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更新时间：2021-06-11 12:16:24
工程技术 论文 研究了基于迈克尔逊干涉条纹对比法测量微位移的实验。用He- Ne激光器、反射镜和分束镜组成的干涉光路,其中一个反射镜固定在被测物体上,通过被测物体的移动带动反射镜移动使干涉光路发生变化,从而导致干涉条纹的改变。在形成干涉条纹的位置利用线阵CCD 采集干涉条纹图像,用序列图像对比的方法对图像进行处理和计算,得出被测物体的微位移。实验表明利用序列图像对比的方法测量微位移,方法切实可行、测量准确度高、测量的精度能够达到微米量级。