给予适度光反馈自混合干涉技术的微位移测量

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文件名称：给予适度光反馈自混合干涉技术的微位移测量
文件大小：280KB
文件格式：PDF
更新时间：2014-05-26 15:02:01
自混合干涉测距 给出了原理及方法，很实用 目前, 光反馈自混合干涉(OFSMI) 技术用于位移 测量方面的方法主要有条纹计数法[6]、相位测量法[7]、 拍频测量法[8]等。条纹记数法量程大, 信号处理简单, 易于实现, 但分辨率限于半个光波波长。