论文研究-基于光电混合细分的自混合干涉测量技术 .pdf

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文件名称：论文研究-基于光电混合细分的自混合干涉测量技术 .pdf

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更新时间：2022-09-16 11:48:52

光学细分

基于光电混合细分的自混合干涉测量技术，陈俊雹，刘强，采用光学细分与电子细分相结合的方法，提高了激光自混合干涉仪在大量程运动距离测量中实时测量的分辨率，大大减轻了在条纹计数法