文件名称：电子束蒸发制备碳化硼球面涂层的表面氧化研究 (2013年)
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更新时间：2024-05-28 04:53:02
自然科学 论文
利用电子束蒸发技术沉积制备了碳化硼微球涂层,将微球涂层依次经退火和稀硫酸腐蚀处理后得到碳化硼空心微球,并借助XRD和SEM对碳化硼微球涂层的表面氧化问题进行了研究。XRD结果显示当衬底温度在120℃附近时,碳化硼涂层部分被晶化;对退火前后和酸腐蚀后的微球涂层进行SEM分析,结果表明,退火前的涂层表面部分被氧化成B203,退火后B2O3覆盖在涂层表面,酸腐蚀可以去掉B,Os,得到表面光洁的碳化硼空心微球。