文件名称：掺硼金刚石薄膜涂层刀具的制备及试验研究 (2008年)
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更新时间：2024-06-06 04:35:17
自然科学 论文
采用偏压增强热丝化学气相沉积法，以硼酸三甲酯为掺杂源，以WG-Co硬质合金刀具为衬底，制备了不同掺硼浓度的金刚石薄膜涂层刀具。通过采用扫描电子显微镜（SEM）、拉曼光谱及压痕测试对涂层刀具的表面形貌、薄膜质量和膜-基附着力进行了研究，分析了硼元素对薄膜质量和刀具性能的影响。研究结果表明：硼掺杂可以有效抑制刀具表层钴的扩散，改变金刚石薄膜的成分；掺硼金刚石薄膜的晶粒取向主要是{111}，随着掺硼浓度的增加，金刚石薄膜的晶粒变小，平均晶粒尺寸从10μm下降到2μm；金刚石薄膜的拉曼光谱中心声子线随着掺硼浓度的