SOI高温压力传感器的研究现状 (2005年)

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文件名称：SOI高温压力传感器的研究现状 (2005年)
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更新时间：2021-04-24 17:18:11
自然科学 论文 SOI（silicononinsulato）高温压力传感器是一种新型的半导体高温压力传感器，具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点，能够解决石油、汽车、航空、航天等领域对高温压力传感器的迫切需求，在高温领域有很大的潜力。本文论述了SOI材料的制备方法一特别是硅片直接键合技术（SDB），简单介绍了SOI压力传感器的优势、制作工艺以及SOI压力传感器的发展现状