文件名称：AlN/TiSiN纳米多层膜的微观组织和力学性能研究U+2217 (2015年)
文件大小：1.04MB
文件格式：PDF
更新时间：2024-06-10 00:44:45
工程技术 论文
采用 TiSi 复合靶和 Al 靶,用射频磁控溅射工艺沉积不同 TiSiN 层厚度的 AlN/TiSiN 纳米多层膜。采用 X 射线衍射仪(XRD )、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究了不同 TiSiN 层厚度对 AlN/TiSiN 纳米多层膜的微观组织和力学性能的影响。结果表明,随着TiSiN层厚度的增加,AlN 相的结晶程度先增加后降低,涂层的硬度先提高后降低,当 TiSiN 层厚度为0.5 nm时具有最高的硬度和弹性模量。HRTEM观测可知,在TiSiN层