磁控溅射PVD阳极设计

时间：2013-04-26 11:05:05

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文件名称：磁控溅射PVD阳极设计

文件大小：41KB

文件格式：PDF

更新时间：2013-04-26 11:05:05

anode

这是溅射镀膜中的阳极设计方面的pdf，希望能对大家的工作有帮助

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厂家宣传资料，原理上的简要说明，可参考

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