磁控溅射技术

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文件名称：磁控溅射技术

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更新时间：2014-11-15 05:11:43

磁控溅射

磁控溅射设备一般根据所采用的电源的不同又可分为直流溅射和射频溅射两种，等等介绍了磁控溅射技术的发展与原理。