一种新型的分布式MEMS移相器的小型化设计 (2006年)

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文件名称：一种新型的分布式MEMS移相器的小型化设计 (2006年)
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更新时间：2021-04-25 17:44:46
工程技术 论文 通过在共面波导信号线上贴敷低介电常数的薄层绝缘介质，使得MEMS金属桥与共面波导信号线在“关”态下形成MIM电容的方法，实现了提高“关”“开”两种状态下的电容比，从而提高了单位长度上的相移量。与传统的设计方法相比，在达到同样相移量指标的情况下仅需少量的MEMS金属桥就可以实现，工作的可靠性得到提高，未封装MEMS移相器器件的总体尺寸可以减小60%左右，此外由于在“关”态下，金属桥直接贴敷在介质表面上而不会随着外界环境震动，因此移相器的相移精度显著的提高。