论文研究-硅微陀螺仪的芯片级温控设计 .pdf

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文件名称：论文研究-硅微陀螺仪的芯片级温控设计 .pdf

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更新时间：2022-09-04 07:19:24

硅微陀螺仪; 温度误差; 芯片级温控

硅微陀螺仪的芯片级温控设计，杨波，徐露，研究了一种新的基于芯片级温控技术的硅微陀螺仪温度误差校正技术。该技术通过集成在陀螺芯片上的微型加热器和温度传感器对陀螺敏