文件名称：SLM显微立体视觉中的双重折射校正算法* (2009年)
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更新时间：2024-05-15 22:23:27
自然科学 论文
为解决微流控芯片检测中由于盖片的双重折射效应导致的聚焦误差、色差和视场误差等问题，从折射基本定理出发，结合光学体视显微镜（SLM）的双光路结构，建立了SLM显微立体视觉双重折射变折射率校正算法，实现了对透明封闭容腔的非接触无损三维精确测量。在微沟道测量实验中，深度方向的测量误差由7.1μm减小到1.5μm，相对误差由18.68%减小到3.95%。SLM显微立体视觉三维测量系统与表面轮廓仪、激光共焦扫描显微镜的横向对比测量实验，证明了SLM显微立体视觉双重折射变折射率校正的必要性和有效性。