文件名称：PET有机薄膜表面的纳米DLC薄膜制备及结构研究 (2008年)
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更新时间：2024-05-13 20:40:34
工程技术 论文
为了研究类金刚石膜的结构，采用射频等离子化学气相沉积的方法制备出类金刚石薄膜，傅立叶红外透射光谱对沉积薄膜进行结构成分分析。结果表明，采用射频等离子体化学气相沉积方法，可以在很短时间内于PET瓶内沉积一定纳米厚度的DLC膜，但受到电极的影响较大。选用不同大小的电极，所制备的DLC的结构不同，薄膜中 sp2和sp3比例和放电功率有较大的关系。同时发现薄膜的成分受乙炔在氩气中的比例影响，提高功率是减少沉积时间的王要手段。