文件名称：MPCVD实验条件对碳氮纳米管薄膜场发射性能的影响 (2005年)
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更新时间：2024-05-18 02:06:49
工程技术 论文
通过正交设计试验法研究了微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）实验条件对碳氮纳米管薄膜场发射性能的影响。结果表明，当微波功率为1500W、反应气压为8.5kPa、甲烷、氮气和氢气的流量比为8：20：80时，制备的碳氮纳米管薄膜场发射特性最好，其开启电场强度为3.2V/μm，电场强度为8.0V/μm时的电流密度为3.5mA/cm2。